Katodik ark PVD yöntemiyle ZrN ve Zr/ZrN kaplamaların biriktirilmesi

dc.contributor.advisor	Doç. Dr. Nurhan Cansever
dc.contributor.author	Çalışkan, Murat
dc.date.accessioned	2018-07-26T06:26:03Z
dc.date.available	2018-07-26T06:26:03Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.uri	http://localhost:6060/xmlui/handle/1/8145
dc.description	Tez (Yüksek Lisans) - Yıldız Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2005
dc.subject	İnce film kaplamalar
dc.subject	İnce nitrür film uygulama alanları
dc.subject	İnce film biriktirme yöntemleri
dc.subject	Fiziksel buhar biriktirme (PVD)
dc.subject	Kimyasal buhar biriktirme (CVD)
dc.subject	İyon kaplama
dc.subject	ZrN
dc.subject	Zr/ZrN
dc.title	Katodik ark PVD yöntemiyle ZrN ve Zr/ZrN kaplamaların biriktirilmesi
dc.type	Tez